青岛高新区集聚半导体上下游企业20余家 

芯片设计、封装测试、设备制造和材料加工等全产业链初具规模

日前，位于青岛高新区总投资7亿元的华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目正加紧建设。作为新一代信息技术产业的细分领域，青岛高新区目前已集聚20余家半导体上下游企业，包括芯片设计、封装测试、设备制造和材料加工等在内的半导体全产业链初具规模。

华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目采用第三代半导体化合物材料，加工生产相关芯片衬底产品，广泛用于光电子器件、大功率器件、通讯微波射频器件等。

“我们深耕半导体化合物基础材料研发和生产多年，具备了蓝宝石、磷化铟、碳化硅和氧化镓等一系列第二代、第三代半导体化合物的技术储备和产业化能力，致力于打造青岛市半导体产业链科创平台。”青岛华芯晶元半导体科技有限公司董事长肖迪说。氧化镓晶体是一种新型的超宽禁带半导体，它具有禁带宽度更大、吸收截止边更短、成本更低等突出优点，成为超高压功率器件和深紫外光电子器件的优选材料之一，“我们会努力将第三代半导体化合物晶片衬底项目建设成样板工程、精品工程，为青岛乃至全国的第三代半导体材料的自主研发和生产奠定基础。”

据介绍，华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目达产后，预计实现年产第三代大尺寸半导体化合物晶片衬底33万片，年产值5亿元。

半导体一直是高新区产业布局的重点方向。青岛高新区新一代信息技术产业事业部相关工作人员介绍，高新区的半导体产业大致可分为设备类、材料类、设计类和制造类，如今已有20余家半导体产业上下游企业在高新区集聚，涵盖芯片设计、材料加工、装备制造和应用开发等领域。

在设备类企业中，埃地沃兹真空泵制造（青岛）有限公司、高测股份、青岛赛瑞达电子科技有限公司是代表企业。其中，埃地沃兹是世界500强企业阿特拉斯·科普柯集团旗下的品牌企业，其产品半导体真空设备干泵的全球市场占有率连续多年超过50%，成为该领域世界第一品牌。青岛嘉星晶电科技股份有限公司则是一家专注从事半导体材料研发、半导体设备生产、半导体技术服务的国家高新技术企业。青岛智腾微电子有限公司专注于高端传感器和厚膜混合集成电路的设计研发和生产制造，重点从事加速度传感器、定向传感器、惯性导航测量设备等产品研制生产。

“我们的建设工程许可证本来需要一周左右的时间，现在两天就办好了。”华芯晶元第三代半导体化合物晶片衬底项目负责人吴志涛说，青岛高新区专门成立了项目推进部，专人协助办理相关事项，项目所需各项手续并联审批、压茬推进，实现了高效率落地开工。

青岛高新区对半导体产业发展给予了重点支持，如设备和流片补贴、相关人才政策、便利审批服务、企业网格员服务等。下一步，青岛高新区将从芯片设计、半导体设备制造、封装测试、二代和三代半导体材料生产及加工等半导体产业细分领域入手，继续扩充半导体产业储备资源。不断优化营商环境，吸引更多优质项目及高端人才来高新区发展，进一步完善产业链条，撬动发展强动能，营造良好的产业生态，打造半导体产业高地。

□青岛日报/观海新闻记者 周 伟 通讯员 肖玲玲 李青健